Daihen 3D80-000826-V4功率发生器

Daihen 3D80-000826-V4 功率发生器是日本大畑Daihen株式会社生产、配套东京电子TEL设备的专用射频电源模块其核心特点总结如下该型号实际对应 Daihen RGA-10D-V 型 RF 射频功率发生器。输出频率为标准工业射频 13.56 MHz。额定输出功率为 1kW1000瓦。由日本大畑株式会社制造工艺质量稳定可靠。部件编号 TEL 3D80-000826-V4其中 V4 表示特定硬件版本。专为东京电子Tokyo Electron的半导体设备配套设计。核心用途是作为等离子体电源用于刻蚀、沉积等半导体工艺腔室。采用风冷散热设计结构内部可见铜质暴露部件。具备过载、过热、反射功率检测等多重射频保护功能。输出阻抗通常匹配 50 欧姆标准工业负载。支持远程控制接口可集成于自动化半导体生产线。频率稳定度高满足高精度工艺对射频源的要求。采用模块化设计便于在设备中进行更换维护。适用于半导体制造、太阳能面板生产、真空镀膜等工业领域。作为二手工业部件流通常用于旧型号 TEL 设备的备件替换。结尾综上所述Daihen 3D80-000826-V4RGA-10D-V功率发生器具有输出稳定、专用于 TEL 半导体设备及维修适配性强的特点是半导体刻蚀与沉积系统中关键的射频能源供应模块。