AMAT 0190-B2950可编程直流控制器

AMAT 0190-B2950 半导体专用可编程直流控制器应用于 AMAT Endura/Centura 平台 PVD、刻蚀设备管控静电卡盘 ESC 偏压、腔体加热直流供电。1. 程控宽域直流输出电压 0~300VDC 连续可调输出电流闭环精准控流适配 ESC 静电吸附工艺需求。2. 双模式运行恒压 CV / 恒流 CC 自动无缝切换负载突变无输出跳变适配晶圆制程动态阻抗变化。3. 低纹波开关电源架构输出纹波3mV规避等离子干扰造成的晶圆镀膜不均、崩片问题。4. 设备专用数字通讯接口适配 AMAT 原厂背板总线上位机远程编程下发工艺参数、在线修改量程。5. 内置高精度远端取样线路补偿长线缆压降腔体端实测电压与设定值误差0.2%。6. 全回路多级防护过压 OVP、过流 OCP、过热 OTP、输出短路锁机保护故障瞬时切断输出保护腔体组件。7. 板载非易失存储可储存 20 组工艺配方参数断电参数不丢失换批生产一键调用预设程序。8. 紧凑型机架插装结构标准机柜卡槽原位插拔同系列 B 后缀型号可直接互换代换。9. 强制风冷散热模组7×24h 满载连续运行高温无尘半导体机房环境温升可控。10. 分区状态指示灯分别显示电源就绪、运行、通讯异常、故障告警四类工况现场排查直观高效。11. 硬件看门狗监测主控回路程序异常自动复位避免整台腔体停机停产。12. 整机 PCB 三防涂层防潮、耐腐蚀性工艺气体挥发、抗射频腔体电磁杂讯干扰。13. 模拟量外接调速端口支持 0~10V 外部模拟信号联动调压对接腔体工艺联动控制系统。14. 原厂定制接线端子和设备腔体 ESC、加热器线束直插对接替换无需改制接线。15. 半导体 PVD 溅射、干法刻蚀产线高频易损备件维保替换常备物料。0190-B2950 是 AMAT 设备腔体偏压与温控系统核心直流控制备件。